纳米压电扫描台,Piezo Scanning Stage是专业为纳米扫描和纳米定位扫描设计的平行平面纳米压电扫描器,广泛用于在开放或闭环系统中光学元件纳米扫描定位和扫描探针器件的扫描纳米定位应用。纳米压电扫描台配备了电容位移传感器，进行数字闭环控制。它提供了高精度和线性运动，消除了对压电陶瓷的蠕变效应。其电容测量部分是基于TDC（时间数字转换器），所有的电子元件安装在离传感器Z近的位置。该种设计降低了噪音，实现了高速位移控制。
平面平行特点
双电容传感器反馈技术
低频噪声电阻
补偿压电陶瓷的蠕变效应。、、
扫描行程是40µM
超高分辨率为0.1nm
设计紧凑，重量轻，刚度高
适用于通用应用
显微镜应用的理想扫描台
还提供真空
活动的ZX部件挂在柔性弹簧上,由压电驱动器驱动，确保了应用的高刚度和高稳定性。为运动提供了的线性和平整度，与经典的采用压电陶瓷管扫描台相比,可步进可提供球形扫描面，还具有更高机械强度。
使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec软件控制纳米压电扫描器。
范围包括：
扫描探针显微镜
原子力显微镜
纳米定位
计量学应用
生物学研究
微电子学应用
微操作等。
产品规格
XY移动距离, µm 40 x 40
Z轴运动距离, µm 5
谐振频率 XY, kHz 5
谐振频率 Z, kHz 50
分辨率（闭环）, nm 1
分辨率（开环）,nm 0.1
整个范围内的角度倾斜, nm <0.01°
Z大扫描速度，, Hz (行/秒) 50
基本样品重量, g 50
尺寸, mm 70 x 62 x 32.2
材料 铝
