原位纳米力学测试系统是目前国际上实现纳米力学测试有效的设备,是教学和深入开展微纳米材料和结构的物理、力学性能研究的必备实验设备。应用于薄膜、多相材料及其晶界、复合材料及其界面、MEMS、生物材料等各种材料在纳米尺度上的力学性能表征,可实现精确定位条件下的原位测试。利用它,不仅可以在纳米尺度上开展材料力学行为的研究,还可以进行纳米尺寸上的机械加工。
FT-NMT03原位纳米力学性能测试系统是一款可在SEM/FIB中对微纳米材料和结构的力学性能进行原位、直接而准确测量的纳米机器人系统。它集合纳米操作以及力学-电学性能同步测试功能于一体,几乎可满足所有的纳米力学测试需求。FT-NMT03原位纳米力学性能测试系统的应用十分广阔,主要有:
(1)复杂微纳米材料的原位机械力学性能测试和结构观察,例如三维激光打印的微结构超材料;
(2)微纳米多自由度操作和精密组装,如微纳部件的拼接及制造;
(3)微纳米机器人及微纳传感器的力/电学分析,如微纳压电传感器的性能分析。
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