瑞士Femto Tools 微纳力学测试系统_详细资料

产品信息 现货状态：否 FemtoTools是一家瑞士高科技公司，研发团队依托于瑞士联邦理工学院-机器人与智能系统研究所（ETH-IRIS）Bradley Nelson 教授课题组，为微纳米尺度的机械测试和机器人处理研发超高精度仪器，充分满足半导体技术、微系统开发、材料科学、微型医学和生物技术等领域的挑战性要求。FemtoTools的微机械处理和测量仪器配备高灵敏度的微力传感探头和力传感微钳，这是基于特殊开发的微机电系统（MEMS）的制造工艺成果。其产品及技术以创新系统的无与伦比的灵敏度和准确性重新定义了微米和纳米领域中精确定量研究的标准，迄今已获得多项重要奖项，包括瑞士技术创新大奖、国际机器人与自动化大会颁发的学术贡献奖（ICRA）等。 FemtoTools主要产品有压力传感器探针、纳米移动平台和定位系统、数据采集控制系统等等，可以在光学显微镜、探针台或电镜环境下，结合其独有的微纳力学传感探针或微钳，对样品进行力学性能测试或微纳尺度的操纵。产品已经在生物与生物工程、材料科学、MEMS 表征、微型机械手臂、纳米技术等广为应用，不断为客户创造令人兴奋的新的可能性。 型号： FT-MTA03 集纳米压痕仪、微拉力仪、轮廓仪和通用微观结构分析仪的功能于一体，其测力范围为±200mN，力学分辨率可达0.5nN（9个数量级），可在三轴方向测量0.1nm至29mm的位移（8个数量级）。FT-MTA03配置高分辨率显微镜，具有95mm的极高工作距离，可在样品上方180°旋转。配备3百万像素CMOS USB相机，可选择同轴透镜照明、环形光和漫射背光三种可调LED照明原理。 FT-NMT03 原位SEM/FIB纳米力学性能测试系统，是一款可在SEM/FIB中对微纳米材料和结构的力学性能进行原位。直接而准确测量的纳米机器人系统。它集合纳米操作以及力学-电学性能同步测试功能于一体，几乎可满足所有的纳米力学测试需求 技术特点： FT-MTA03 多样的机械性能测试模式,例如纳米压痕、压缩/拉伸、弯曲、蠕变、疲劳和断裂测试 大高宽比样品的形貌扫描(接触力的分辨率为亚纳牛) 定量微纳米机械性能测试的同时可实时观测测试过程 力学测量范围为±200mN,力学分辨率为0.5nN(9个数量级) 位移测量范围为0.1nm-29mm(8个数量级) 自动三维扫描样品的机械性能和表面形貌 多样的测试角度(垂直、水平、各种角度测试) 基于MEMS紧凑设计的微力传感探针拥有极小信号偏移和高信噪比 多种微力传感探针可供选择,如大长径比的钨针尖、球形、金刚石Berko- vich三棱锥和圆锥形 人性化的软件和直观的用户界面方便用户获取准确数据 用户可设计个性化的测量步骤和原理 硬件层面的力传感器保护模式,防止传感器过载 可兼容FemtoTools FT-S系列微力传感探针实现机械性能测试,也可兼容FT-G系列 微镊实现微结构的操作和组装 FT-NMT03 能同时实现SEM/FIB高分辨成像和纳米力学性能测试 力学测量范围0.5nN-200mN(9个数量级) 位移测量范围0.05nm-21mm(9个数量级) 五轴(X,Y,Z,旋转,倾斜)闭环控制保证样品和微力传感探针的精确对准 能在SEM/FIB工作距离下实现高分辨成像(可达4mm)以及FIB切割和沉积 能够通过力和位移两种控制模式实现各种力学测试,例如拉伸、压缩、弯曲、剪切、循环和断裂测试等 五轴(X,Y,Z,旋转,倾斜)位移记录器实现样品台上多样品的自动测试和扫描 电性能测试模块能够实现力学和电学性能同步测试(样品座配备6个电极) 导电的微力传感探针可有效减少荷电效应 实现力学性能测试与其他SEM/FIB原位分析手段联用,如EDX、EBSD、离子束沉积和切割 兼容于SEM本身的样品台,安装和卸载快捷方便 模块化设计使系统适用于各种形貌样品的测试需求及各种SEM/FIB配置 紧凑的外形设计适用于各种全尺寸的SEM/FIB样品室 用户可设计自定义的测试程序和测试模式

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