纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
动态纳米压痕，提供了弹/塑性和粘弹性随着压入深度、频率和时间的变化关系，全面表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用；XPM快速力学性能成像，不论是测量分辨率和精度，还是测量速度，XPM都是纳米力学测试的业界新标杆；SPM+实现纳米力学测试前后的准确原位成像，使用同一根探针实现样品表面形貌成像和纳米压痕测试；强大的控制和分析系统。
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