是一款高性能高精密的测量仪器,可以不接触样品表面进行厚度测量。这种方式可以避免接触测量引起的表面损伤,特别适用于软脆材料及对样品表面质量高要求的测量.该仪器能非常理想的用于半导体、光学及电光材料厚度的测量应用。
测量范围:10毫米
满量程精度:1微米
测量臂带细调功能测量范围0-180mm总高280mm 重量 8 kg
适用于晶圆厚度的在线测量。也适用于各种玻璃瓶、玻璃 杯、灯 泡、灯管的壁厚的在线或静态测量。
采用无污染气脉冲测量法,通过气脉冲,在晶圆表面形成均匀气膜,对被测物进行非接触、无损伤厚度测量,采样速度快精度高,性能稳定,操作简单。
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