产品名称
输出(分辨率)
光栅选项
栅尺长度
系统精度
Z高速度
读数头尺寸 (L x W x H)
RGH20
数字:RS422(5 µm至10 nm)模拟:1 Vpp (20 µm)串行:不适用
RSLR
达5 m
1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm
8 m/s
36 mm x 13.5 mm x 14.8 mm
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