氦质谱检漏仪ZXL-860 氦质谱检漏仪及真利空捡漏系统

二、主要技术指标

1. Z小可检漏率：5×10^-13Pa?m³/s

2. 漏率显示范围：1×10^-1—1×10^-12Pa?m³/s

3. 启动时间：≤3min

4. 响应时间：≤1.0s

5. 检漏口的Z高压力：2000Pa

6. 极限压强：5×10^-4Pa

7. 机械泵抽速：0.5L/s

8. 电源要求：220V，50Hz，单相，10A

9. 工作环境：5-35℃

10.相对湿度：≤80%

11.外形尺寸：560（W）×420（D）×320（H）

12.重量：42kg

三、主要配置                                       

1.德国普发检漏仪专用分子泵

2.英国爱德华机械泵

3.内置标准漏孔

4.美国AD放大器

5.采用质谱专用模块

6.台达液晶触摸彩屏