特点:
1. 的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
项目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 |
二次电子分辨率 | 1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm) |
1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm) |
加速电压 | 0.1~30kV |
观测倍率 | 20~8000,000(底片输出) |
60~2,000,000(显示器输出) |
样品台 |
马达驱动 | 5轴 | REGULUS样品台 |
行程 | X | 0~50mm | 0~110mm |
Y | 0~50mm | 0~110mm | 0~80mm |
Z | 360° |
T | -5~70° |
R | 1.5~30mm | 1.5~40mm |
Z大装载尺寸 | 100mm(Z大) | 150mm(Z大) | 150mm(Z大) |
150mm(选配) | 200mm(选配) |
探头 |
标配 | Lower | 高立体感图像 |
Upper | 高分辨SE、LA-BSE图像 |
Top | SE的电位衬度像、HA-BSE图像 |
选配 | STEM | 明场像、暗场像 |
YAG 探头 | BSE图像 |
半导体探头 | BSE图像 |
EBIC | 电子束感生电流图像 |
EDS | 元素分析 |
反污染措施 |
冷指 | 标配 |
物镜光阑 | 内置自清洁功能 |
电子枪 | 内置加热器 |
真空系统 |
离子泵 | 3台 |
分子泵 | 1台 |
机械泵 | 1台 |