产品介绍:
日立新型高分辨场发射扫描电镜SU8000系列--SU8020
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探测器设计上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测;结合选配的STEM探测器,还可以实现明场像和暗场像的观测;此外在半导体应用中,还可以安装EBIC探测器,采集感生电流图像,极大丰富了信号的采集,对样品的信息的收集达到了新的高度。
特点:
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成
项目 |
SU8020 |
SU8030 |
SU8040 |
二次电子分辨率 |
1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm) |
1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm) |
加速电压 |
0.1~30kV |
观测倍率 |
20~8000,000(底片输出) |
60~2,000,000(显示器输出) |
样品台 |
马达驱动 |
5轴 |
REGULUS样品台 |
行程 |
X |
0~50mm |
0~110mm |
Y |
0~50mm |
0~110mm |
0~80mm |
Z |
360° |
T |
-5~70° |
R |
1.5~30mm |
1.5~40mm |
ZD装载尺寸 |
100mm(ZD) |
150mm(ZD) |
150mm(ZD) |
150mm(选配) |
200mm(选配) |
探头 |
标配 |
Lower |
高立体感图像 |
Upper |
高分辨SE、LA-BSE图像 |
Top |
SE的电位衬度像、HA-BSE图像 |
选配 |
STEM |
明场像、暗场像 |
YAG 探头 |
BSE图像 |
半导体探头 |
BSE图像 |
EBIC |
电子束感生电流图像 |
EDS |
元素分析 |
反污染措施 |
冷指 |
标配 |
物镜光阑 |
内置自清洁功能 |
电子枪 |
内置加热器 |
真空系统 |
离子泵 |
3台 |
分子泵 |
1台 |
机械泵 |
1台 |