| 品Pai： | 英国泰勒霍普森 | 型号： | Talysurf CCI |
| 测量精度： | 0.01 | 外形尺寸： | 500*600（mm） |
| 重量： | 50（kg） | 适用范围： | 0-1 |
技术参数
（1） 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
（2） 分辨率： 0.1 A
（3） 测量点数： 1,048,576 （ 1024 x 1024 点阵 ）
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
主要特点
•专利的相干相关算法
•0.01nm分辨率
•10-20秒测量时间
•RMS重复性：0.03A
仪器介绍
TalysurfCCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
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北京东方安诺生化科技有限公司
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