欧瑞康莱宝于九十年代研发的Z新型的DIP系列大口径扩散泵,对传统扩散泵在许多方面做了重大改进,其主要特点:
-抽速大;抽速范围为3000~50000升/秒(ISO/DIN国际标准,既ZG国家标准),共分七种规格;
-泵壁有凹槽,冷却水管卧在凹槽内,增大了接触面积,冷却效果好;
-油蒸气返流量低。不加外置水冷挡板并使用DIFFELEN普通矿物油,其返油量为1×10-3毫克/厘米2每分钟,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分钟;
-极限真空度高;低于5x10-7mbar;
-重量轻;50000升/秒抽速的DIP50000扩散泵的重量仅为560公斤;
-采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热,热传输效率高,因此预热时间短;对于抽速为3000-20000升/秒的泵,预热时间为小于25分钟;30000和50000升/秒的泵,预热时间小于30分钟;
-可在不停泵的情况下更换扩散泵的加热棒;
-每根加热棒配置单独断路器,电路高度安全,操作方便;
-装有过热保护装置,防止泵油过热;
-通过油观察窗可随时观察油位和油是否变质;
-有注油口和放油口,换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下;
-Z大允许前级压力高,为0.6mbar;
-LEYBOJET630,增强中真空段抽速和气载处理能力,特别适合溅射镀膜、真空熔炼和干燥等的应用特点;
-创新推出:节能电控单元(可选备件),节电Z高达40%;
-在冶金、热处理、镀膜、科研等和其它加工工业领域,欧瑞康莱宝为客户度身订做各种规格的扩散泵组。