便携式共聚焦显微系统技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:5~10秒
测量原理:非接触、共聚焦、可移动,可以检测大型的物体
X/Y方向移动范围:50mmX50mm,马达驱动,X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向移动范围:35mm
Z方向测量范围:250μm,Z方向分辨率:< 10nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
计算机:高性能计算机控制系统,功能强大且全面的软件,有拼接功能
工作电源:90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W(也可用电池做电源)
材质:钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸:380*110*115mm
重量:5.5KG(不含防震拉杆箱)
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
便携式共聚焦显微系统
μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。
一个特殊改装的固定工作台可以承载大体积高重量的测试物体,结合一个可以自由移动的滚轮式工作台,μsurf 移动式3D测量系统可以轻易的传输并且设置在任意一个地方进行使用。μsurf 特别为大体积样品的测量而开发。例如,轧辊和车身。由于其便携性,它非常适用于工厂的在线检查。μsurf 移动式3D测量系统只需几分钟准备便可进行测量,并且可以方便地架设在测试对象上--因为它的重量只有5公斤。根据不同测量要求可以编辑不同的应用方案。配有鼻轮和专业解决方案软件的μsurf 移动式3D测量系统可满足了各种各样的测量任务。