● 大尺寸样品台,全自动测量Z大直径为160mm样品。
● PZT/Voice Coil双模式技术AFM
● 全自动运动平台,马达驱动
● 批处理软件,自动图像拼接缝合技术,可以测量超大样品的三维形貌像
● 先进的32-bit DSP控制器,反馈技术(扫描范围>10um时Z高扫描20 Hz,消除爬行现象)
● 可以进行纳米压痕和划痕实验
● 光学系统, XY闭环扫描技术
● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发
主要特点:● 原子力显微镜扫描器Z大测量范围:110um X & Y range,22um Z range
● 大尺寸样品台,全自动测量Z大直径为160mm样品。
● PZT/Voice Coil双模式技术AFM
● 全自动运动平台,马达驱动
● 批处理软件,自动图像拼接缝合技术,可以测量超大样品的三维形貌像
● 先进的32-bit DSP控制器,反馈技术(扫描范围>10um时Z高扫描20 Hz,消除爬行现象)
● 可以进行纳米压痕和划痕实验
● 光学系统, XY闭环扫描技术
● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发