Nanonmap D 光学探针双模式轮廓仪

 
NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪经过广泛严格的检测，确保其作为测量仪器的标准性和权威性，并保证设备的各种功能完好，各个部件发挥出色。用NIST标准可以方便快捷地校验系统的精度，所校准用的标样为获得美国国家标准局（ NIST） 的计量单位的认可。

NanoMap-D配备的软件提供了二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。用于阶越高度测量的地区差异绘图。

NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪主要功能及应用:

• 多种测量功能

精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）、体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。

• 薄/厚膜材料

薄/厚膜沉积后测量其表面粗糙度和台阶高度,表面结构形貌, 例如太阳能电池产品的银导电胶线

• 蚀刻沟槽深度, 光刻胶/软膜

亚微米针尖半径选件和埃级别高度灵敏度结合，可测量沟槽深度形貌。

• 材料表面粗糙度、波纹度和台阶高度特性

分析软件可轻易计算40多种的表面参数，包括表面粗糙度和波纹度。计算涵盖二维或三维扫描模式。

• 表面光滑度和曲率

可从测量结果中计算曲率或区域曲率

• 薄膜二维应力

测量薄膜应力，能帮助优化工艺，防止破裂和黏附问题

• 表面结构和尺寸分析

无论是二维面积中的坡度和光滑度，波纹度和粗糙度，还是三维体积中的峰值数分布和承载比，本仪器都提供相应的多功能的计算分析方法。

• 缺陷分析和评价

先进的功能性检测表面特征，表面特征可由用户自定义。一旦检测到甚至细微特征，能在扫描的ZX被定位和居中，从而优化缺陷评价和分析。