多工位回转炉CVD炉
一、锂电池专用炉操作便捷性:
1 锂电池专用炉气路连接方式采用了快速连接法兰结构; 真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
2、使取放物料过程简化,只需一支卡箍便可完成气路连接,方便操作。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
3、取消了复杂的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
二、 结构实用性; 真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉 多工位回转炉CVD炉
1、的加热炉膛有上下两部分组成,其中上部炉膛可整体向后翻转110°,方便取放、观察实验物料,炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采取高电阻优质合金丝0Cr27Al7Mo2。
2、的密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉
3、两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。CVD炉 cvd电炉 rtp炉 快速退火炉 立式电炉/管炉 石磨希电炉 RTP
4、采用先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。真空气氛 旋转电炉 立式管炉 快速退火炉 马佛炉