FF-160/750Z脂润滑复合分子泵技术性能
分子泵型号
FF-160/750Z
进气口法兰
LF160
CF160
抽气速率
750升/秒
压缩比
N2 109
H2 5×103
极限压强(Pa)
<2×10-6
<2×10-7
排气口法兰
KF40
启动时间
<6分钟
额定转速
36000转/分
振动值
≤0.1μm
建议采用前级泵
8升/秒
润滑方式
脂润滑
安装方式
任意角度
冷却方式及温度
水冷、水温≤25℃
泵体烘烤温度
<120℃
环境温度
5℃~40℃
重量
18.6kg
19kg
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