FB-250/1600涡轮分子泵技术性能
分子泵型号
FB-250/1600
进气口法兰
LF250
CF250
抽气速率
1600升/秒
压缩比
N2 108
H2 5×102
极限压强(Pa)
<2×10-6
<2×10-7
排气口法兰
KF40
启动时间
<8分钟
额定转速
24000转/分
振动值
<0.1mm
建议采用前级泵
15升/秒
充油量
110ml
安装方式
竖直±5°
冷却方式及温度
水冷、水温£25℃
泵体烘烤温度
<120℃
环境温度
5℃~40℃
重量
39公斤
40Kg
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