在A100 -原子力显微镜配备了闭环样品定位系统。它保证为10纳米(定位精度高达10倍的闭环系统) 这种特殊的功能,再加上具体的软件工具,使仪器适合纳米光刻。 在A100 - SGS的原子力显微镜配备了扫描台阶,保证在大面积的测量,可达100毫米,提高了曲面。有EFM、MF
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