ＣＸ 美国ＣＯＭＤＥＬ射频电源及自动匹配器

     CX系列电源为了满足在半导体工艺的高频驱动等离子系统的性能要求而设计的。应用领域包括：刻蚀、RIE、平板、ICP、射频溅射、CVD和PVD，同时也应用在感应和介质加热的工业领域。
特点：
●        全固态设计：体积小，长寿命低维护
●       “S”技术：解决了传输线长度受限制的问题，同时可提高抵抗由于等离子体阻抗波动带来的功率增益变化，从而提高电源的寿命和匹配网络的稳定性
●          通过了多项国际安全认证（CE，ETL，SEMI F47），使产品的安全性能得到保障
●          本地控制面板通过4个软键和高精密编码器进行操作，高清晰兰色背光液晶显示屏，使得操作过程简单而舒适
●          远程控制接口：标准RS232，数字/模拟控制接口，DeviceNet(可选)
●          多种安全保护技术：过温保护，失谐保护，过流保护，射频输出连接器互锁，控制信号保 护等
●          控制电路确保了在高压驻波比条件下的可持续性
基本参数:
l         功率控制              0～10VDC输入信号控制，产生0～Z大标定功率输出
l         功率控制线性          设置功率在大于额定功率10%的条件下≤2%
l         频率                  2～30MHZ范围内的任何确定频率
l         频率的稳定性          13.56MHZ±0.005％

Match Pro系列自动匹配器
 具有COMDEL*的PROTRAK的工程设计技术，高速调配运算使系统接近调配点时调配速率逐渐降低，甚至在高Q值负载条件下实现准确调配。线形控制电路是COMDEL 的Match Pro与其他匹配器重要的不同之处。在响应工艺过程中发生负载阻抗特性变化时，Match Pro很快地、准确地及可靠地调节到50欧姆的阻抗。
特点：
1.       自动调谐匹配，可实现真空电容调节，自动运行期间无须人工干预
2.       Match Pro可在50～50000W功率范围内工作
3.       自动控制和手动控制模式：手动模式是通过本地和远程手动控制调节来达到调节电容的目的
4.       在等离子体点火前，可预先设置电容的初始位置，以实现在阻抗变化期间，能快速、稳定的匹配调整
5.       电容位置展示的结果，可明显展示工艺阻抗变化的特征
6.       大功率，MOSFET场效应管设计的马达驱动电路，使马达运行得到合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性
7.       选择数字型的远程控制遥控器，可显示电容的位置及DC偏压