UL1000 英福康（inficon）UL1000氦质谱检漏仪

Z小可检漏率（按AVS2.1和EN1518标准）

＜5×10-12mbar.l/s

Z小可检漏率（吸入器模式）

＜3×10-8mbar.l/s

入口压强                 粗检模式

                       精检模式

                       超精检模式

15 mbar

2 mbar

0.4 mbar

在抽空过程中的抽速

25立方米/小时

入口压强对氦气抽速      粗检模式

                       精检模式

                       超精检模式

8升/秒

7升/秒

2.5升/秒

可检质量数

2、3、4amu, 氢，3氦，氦

电源电压

110－120V；220－241V

重量

110公斤；242磅

尺寸，包括手把（长×宽×高）

1068×525×850毫米