ST5030-SL 薄膜厚度测量仪

活动范围 300mm x 300mm
测量范围 100?~ 35?（Depends on Film Type）
光斑尺寸 40?/20?,4?（option）
测量速度 1~2 sec./site （fitting time）
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measure
选择 Reference sample（K-MAC or KRISS or NIST）
Anti-vibration table
接物镜转换器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp

·标准模型
·工业规格
·自动的X-Y平台
·自动调焦
·半导体和裂变产物探测

尺寸 500 x 750 x 650 mm
重量 80Kg
类型 自动
测量型号 ≤ 4"
测量方法 无连接的
测量原理 反射计
特征

测量迅速，操作简单
非接触式，非破坏方式
的重复性和再现性
2D/3D 映射和造型
自动机械活动控制
电荷耦合器件照相机
自动调焦