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    专业代理椭偏仪测太阳能电池——上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉...

    产品信息

     

      规格（SPECIFICATION）：
           - 波长范围：350~850 nm
           - 入射角：30°~90° （解析度：± 0.01°）
           - 待测样品尺寸：up to 200mm
           - 精度：1200A SiO2 标准片
             - 厚度（Tks）: ± 2.5 A （3σ）
             - 折射率 （N）：± 0.01@ 632.8 nm
           - 重复性:1200A SiO2 标准片 （ 5 times）
              - 厚度 : ± 2.5 A （3σ）
              - 折射率 : ± 0.005 @ 632.8 nm.

      应用（APPLICATION）：
           - 太阳能电池: 减反膜工艺
           - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...
           - SEMI:
           - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2
           - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …

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    信息说明

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