EPS1000/EPS500 手动探针台

手动探针台针对不同应用，推出：晶圆探针台(Wafer Probe Station)、射频探针台(RF Probe Station)、LCD/OLED大尺寸平板探针台(LCD/OLED Probe Station)、激光二极管/光电二极管探针台(LD/PD Probe Station)、表面电阻探针台、霍尔效应探针台、PCB检测台、Mask检测台、激光修补台、高温探针台、低温探针台等等型号设备。
手动探针台广泛用于半导体、微电子的科研和开发。技术参数：
1、载物台(卡盘)尺寸: 4/6/8英寸可选;
2、载物台(卡盘)X,Y方向移动:100x100mm;
3、载物台(卡盘)转动Theta: 0~360度;
4、卡盘Z向粗调:40mm,控制杆调节;
5、卡盘Z向微调:20mm,手动螺旋调节;
6、显微镜台移动(X,Y): 50x50mm;
7、针座移动范围(X-Y-Z):10x10x10mm;
8、针座精度: 5um/pitch;
9、漏电流低于300fA;
10、真空泵:7L/Min, -250mmHg;
11、尺寸:780mmx660mmx700mm;
12、重量:30Kg;
探针台可配附件：
- 低电流、低电容探针/电缆;
- RF探针、电缆;
- 高分辨长工作距离显微镜;
- 变温热台(RT~300度);
- 低温样品台(80K-600K);
- 真空腔体;
- 数字CCD相机(拍照、摄像);
- 防震台(Anti-Vibration Table);
- 黑箱(Black Box)...主要特点：
1、同轴驱动台面
2、RF射频探针升级
3、显微镜20~4000倍的放大
4、后座自由移动
5、载物台快速升降
6、卡盘真空吸附,晶圆取放方便;
7、卡盘上下精细调节
8、卡盘绝缘设计;
9、探针卡超速运动调节