UNION HISOMENT三轴测量显微镜 非接触式深度测量工具显微镜工具显微镜为一专业X、Y、Z轴坐标测量显微镜,X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm,放大倍数由5至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度,Z轴对焦采用一光学“裂像指示器”,结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨,可测范围25 mm,精度高达1μm,配合特殊附件,测量分解度更可达0.5μm或0.1μm. 技术规格型号:DH II工作台行程:100*200mm/150*300mm/500*500mmZ轴测量范围:25mm/25mm/25mm三轴分解度:0.001mmZ轴读数装置:ID-F内置数显表/外置数据处理系统反射照明系统: 内置8V-15W钨丝灯/外置冷光源标准目镜:10X标准物镜:10X 读数系统DRO200S简易坐标读数器/QC200多功能数据处理器/QC5000测量软件计算机系统