• UV表面微粒檢測機一般有多種稱呼方式,如: 微粒子檢查燈, 表面檢查燈或是Particle Inspecter ...等眾多不同稱呼 • UV 表面微粒檢測機(UV Particle Detector)對曝光機; 顯影機 ,蝕刻, 黃光 及偏光板貼附機台效果為顯著 • UV 光 是使用用人體無害的 UVA 波長: 365nm • 對於製程機台 or Parts Cleaner 機台上之有機物質; 油漬; 水漬; 帶靜電Paricle;毛屑;纖維;膠類物質Particle 皆可觀察 • 較無法觀察金屬屑, 玻璃(可用一般強光燈) • 若背景為鏡面不鏽鋼 或 完全白底 其觀察效果較不顯著….建議LED綠光表面檢查燈輔助
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