ZH21-HRM-1 射频磁控溅射镀膜装置/磁控溅射镀膜装置

1.射频磁控溅射镀膜装置/磁控溅射镀膜装置 型号；ZH21-HRM-1

可开设的实验

1、掌握射频磁控溅射法制膜的基本原理；

2、了解磁控溅射镀膜仪的操作过程及使用范围；

3、磁控溅射法制备金属膜、半导体膜、化合物膜、介质膜等薄膜。

    1、溅射镀膜室：由不锈钢底与玻璃钟罩组成；有效尺寸：Φ220×H230mm³；

    2、溅射镀膜室本底真空：≤1Pa；溅射腔极限真空：6×10^-1Pa；

    3、溅射靶：Φ50mm，溅射靶台和溅射靶可调距离：20～60mm；

    4、基片加热温度可控范围：室温～300℃；

5、射频源功率：500W，13.56MHz；

6、气路系统：由两路转子流量计控制（可选配质量流量计）；

    7、真空系统：2XZ-4型旋片真空泵，抽气速率：4L/S，单相220V交流电源供电；

    8、对过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施；

    9、供电电源：AC220V，50Hz，整机功率2KW。

JBY-XJ-Ⅲ(COD、TP、TN)消解装置可对各种地表水、生活污水、工业废水中化学需氧量(COD)、总磷(TP)、总氮(TN)等进行消解测定.

广泛适用于各级环保部门、水资源管理部门及公共卫生部门对水质的鉴定与管理.

主要特点:微电脑控制温度和时间,准确直观,消解完成蜂鸣提示;

可消解多种物质:化学需氧量(COD)、总磷(TP)、总氮(TN)等;

省时、省费用,操作简单方便,恒温精度高;

用于COD消解时-国家环保总局《水和废水监测分析方法》(第四版)P216推荐方法.

A、密封消解,具有抗氯离子干扰的能力,能测定COD值大于50mg/L以上,氯离子含量高达10000mg/L水平;

B、可测定10mg/L以下COD值.

产品说明：技术参数：

回转速度：   200r／min

回转半径：   30mm

输入功率:    60w

工作电源:    AC220±22v 50HZ

外形尺寸：   461mm×361mm×360mm

整机重量：   25kg

茶叶标准筛(标配):    1#(孔径0．18mm)、2#(孔径：O．23mm)

                     3#(孔径0．45mm)、4#(7L径0．63mm)

                     5#ffL径  1．25mm)、6#(7L径：1．60mm)