产品特点：
可编程精确温度，范围 -120℃ ～ 400℃
表面温度梯度极低
外盖和内盖（可选）
尺寸超薄，可集成进探针台或光学显微镜
卡盘台面不接地
支持真空腔版本
可控升温/降温速度
技术参数
温度精度 |
0.01℃ （需使用mK1000） |
温度分辨率 |
0.01℃ （需使用mK1000） |
温度稳定性 |
±0.01℃，100℃时（需使用mK1000） |
Z小制冷/制热速度 |
±0.1℃ /小时 |
温度方式 |
PID控制开关，追加线性直流电源（可选） |
温度传感器 |
100 Ω 铂质RTD传感器 |
表面光滑度 |
10 µm，环境温度下 |
型号信息
尺寸 | 型号1 2 |
样品Z小/大直径 | 温度范围3 | Z大制热速度 |
100 mm 方形 | HCP204SC |
101 mm x 101 mm | -120 ℃ ～ 200 ℃ |
+120 ℃，100℃时 |
HCP304SC | -120 ℃ ～ 310 ℃ |
HCP404SC | -120 ℃ ～ 400 ℃ |
150 mm方形 | HCP206SC |
152 mm x 152 mm | -100 ℃ ～ 200 ℃ |
+90℃，100℃时 |
HCP306SC | -100 ℃ ～ 310 ℃ |
HCP406SC | -100 ℃ ～ 400 ℃ |
200 mm方形 | HCP208SC |
203 mm x 203 mm | -80 ℃ ～ 200 ℃ |
+45℃，100℃时 |
HCP308SC | -80 ℃ ～ 310 ℃ |
HCP408SC | -80 ℃ ～ 400 ℃ |
300 mm方形 | HCP20CSC |
304 mm x 304 mm | -60 ℃ ～ 200 ℃ |
+30℃，100℃时 |
HCP30CSC | -60 ℃ ～ 310 ℃ |
HCP40CSC | -60 ℃ ～ 400 ℃ |
1支持Swagelok接口（可选）
2支持顶杆孔（可选）
3 低于环境温度操作时需要制冷配件（可选）
订货信息 - 100 mm 平板
部件编号 |
说明 |
HCP204SC-mK1000A |
HCP204SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP204SC-mK1000U |
HCP204SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP304SC-mK1000A |
HCP304SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP304SC-mK1000U |
HCP304SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP404SC-mK1000A |
HCP404SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP404SC-mK1000U |
HCP404SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
C-A4-01 |
盒盖，适用于HCP204SC/HCP304SC/HCP404SC，94 mm x 94 mm 观察视窗 |
IC-A4-01 |
100 mm 内盖，能提升温度均匀度，适用于HCP204SC/HCP304SC/HCP404SC |
订货信息 - 150 mm 平板
部件编号 |
说明 |
HCP206SC-mK1000A |
HCP206SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP206SC-mK1000U |
HCP206SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP306SC-mK1000A |
HCP306SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP306SC-mK1000U |
HCP306SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP406SC-mK1000A |
HCP406SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP406SC-mK1000U |
HCP406SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
C-A6-01 |
盒盖，适用于HCP206SC/HCP306SC/HCP406SC，145 mm x 145 mm 观察视窗 |
IC-A6-01 |
150 mm 内盖，能提升温度均匀度，适用于HCP206SC/HCP306SC/HCP406SC |
订货信息 - 200 mm 平板
部件编号 |
说明 |
HCP208SC-mK1000A |
HCP208SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP208SC-mK1000U |
HCP208SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP308SC-mK1000A |
HCP308SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP308SC-mK1000U |
HCP308SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP408SC-mK1000A |
HCP408SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP408SC-mK1000U |
HCP408SC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
C-A8-01 |
盒盖，适用于HCP208SC/HCP308SC/HCP408SC，196 mm x 196 mm 观察视窗 |
IC-A8-01 |
200 mm 内盖，能提升温度均匀度，适用于HCP208SC/HCP308SC/HCP408SC |
订货信息 - 300 mm 平板
部件编号 |
说明 |
HCP20CSC-mK1000A |
HCP20CSC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP20CSC-mK1000U |
HCP20CSC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP30CSC-mK1000A |
HCP30CSC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP30CSC-mK1000U |
HCP30CSC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
HCP40CSC-mK1000A |
HCP40CSC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 115V，含软件程序 |
HCP40CSC-mK1000U |
HCP40CSC方形高低温晶圆夹盘主机，配有mK1000, 230V，含软件程序 |
C-AC-01 |
盒盖，适用于HCP20CSC/HCP30CSC/HCP40CSC，297 mm x 297 mm 观察视窗 |
IC-AC-01 |
300 mm 内盖，能提升温度均匀度，适用于HCP20CSC/HCP30CSC/HCP40CSC |
配件信息
配件 |
说明 |
mK1000 （可选） |
请参阅mK1000温度控制器章节（了解如接口信息） |
LN2-SYS |
液氮制冷配件，请参阅LN2-SYS章节选择您需要的规格 |
WPC3A/WPC3U |
115V 或 230V 循环水泵系统，能将样品腔快速制冷至5℃ |
WP115F/WP230F |
115V 或 230V 循环水泵，用于冷却冷热台外壳 |
结构图 – 100 mm 方形冷热平板
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本公司为美国Instec（英斯特科）ZG区总代理，代理其冷热台、高低温晶圆夹盘、冷热平板、液晶参数测试仪等产品。产品多样，规格性能涵盖各种需求。欲了解更多产品请联系本公司。
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沪公网安备 31011502008050号
