CDG025D-X3电容膜片真空计 的详细介绍
CDG025D-X3电容膜片真空计先进的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设定点调整。 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有的零点稳定性和预计数百万次压强周期(包括大气冲击)的长使用寿命。 独特的传感器屏蔽(申请中)保护真空计免受过程污染。 坚固耐用的机械设计和数字电子设备改善了 EMC 兼容性、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D-X3电容膜片真空计为电源接通后的快速稳定与暴露大气压后的快速恢复等特性设定了新标准。CDG025D-X3电容膜片真空计益处:全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
电源接通后快速稳定
暴露于大气压后快速恢复
防腐陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器防污染双层保护
一键调零功能
电源范围广
2 个设定点
RS232 接口
符合洁净室标准
CDG025D-X3电容膜片真空计典型应用
用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备
数据存储和显示制造设备
工业真空设备
常规高精度压力测量
CDG025D-X3电容膜片真空计选型指南