TMC光学平台—STACIS III

STACIS®III 是进的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和进的压电致动器。STACIS 通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。

Z初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS 现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

STACIS III 包括一个新型改进的数字控制器——DC-2020。它的前后面板上有新型双核处理器，以太网和 USB 串口，这个新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。

拥有在世界各地的数百个成功安装案例，STACIS 对于大部分振动敏感仪器来说都是Z理想的振动消除系统。

特点及优势

1、从 0.6Hz 开始隔离振动，1Hz 时可隔振 40%~70%。
2、频率大于 2Hz 时，水平和垂直方向的隔离效果都可达到 90%以上。
3、减少工厂地板建筑消耗，允许工具安装在高振动环境。
4、主动带宽在 0.6Hz 到 150Hz5、被很多工具生产商推荐
6、六自由度主动硬装设计，非气浮装置
7、安装简单，需要很少或者不需要现场补偿的鲁棒控制系统
8、兼容所有内部工具振动消除系统
9、当振动等级随时间增长时确保工具振动标准都可以得到满足
10、利用 TMC 的专利 STACIS 压电陶瓷技术来消除振动
11、确保旧的、有噪音的地板可以适应进的工具
12、兼容多种高度的地板
13、增长了生产量，质量和收益

STACIS®是世界上进的主动振动消除系统。利用先进的惯性振动传感器和进的压电陶瓷制动器，STACIS隔振系统通过感受地面振动，而后通过膨胀和收缩压电陶瓷制动器过滤地面振动来实时的隔离振动。

Z初被设计用于先进半导体工厂的精度显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS 现在对于嘈杂环境中Z敏感的仪器是行业内的标准解决方案，它相比于气浮支腿坚硬数百倍，STACIS 不存在气浮隔振系统的局限性。没有“软”悬浮，这与主动的气浮系统不同，STACIS 可以放置在内置主动空气隔振系统的工具下面。

除了可以促进工具性能优化、为嘈杂实验室提供解决方案，STACIS 还被证明可以满足晶片光刻检验、计量和显微光刻工具的地面振动规范。因为有在全世界数以百计的成功安装案例，STACIS 对于大多数振动敏感设备都是理想的振动隔离系统。