TMC STACIS iX SEM-Base
用于SEM的主动式压电陶瓷振动消除地板式平台
STACIS iX SEM-Base主动式压电陶瓷地板式隔振平台是专为扫描电子显微镜所设计的。扫描电子显微镜是振动Z敏感的仪器,而且这些精密仪器都有内置的隔振系统,SEM-Base可以兼容SEM内部预装的振动隔离系统。
SEM-Base可以从低于1Hz开始隔离振动。SEM-Base只有6.5in.高,底座尺寸是35.5in.x44.5in.,自重约为650磅,可以支撑900磅(409kg)到2500磅(1134kg)的负载。
特性:
1、包含STACIS专利技术
2、主动的内部振动消除装置
3、适合大部分商业SEMs。(35.5*44.5*6.5inch)
4、负载容量:900-2500lb
5、振动消除起始频率小于1Hz
6、六自由度
8、安装容易
9、兼容所有内置振动隔离系统
10、非气浮系统
11、简单,鲁棒性好,性价比高
12、可安装脚轮,轻松携带移动,不需要搬运
优势:
硬式装载技术
SEM-Base VI 兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统,从0.6Hz开始
主动QL消减地面低频振动。
主动惯性振动消除
SEM-Base VI 采用高灵敏度的低频惯性速度传感器,即使在安静的
地面上也可以达到高水平的振动衰减。
串行设计与压电技术
独特串行设计加上高强度压电专利技术,SEM-Base VI 不但达到了宽至0.6Hz-150Hz 的主动带宽,更实现了无与伦比的惯性主动振动消除,2Hz以上的振动衰减可达90%以上。
完全集成式的单平台设计
SEM-Base VI 设计与制造的集成化,将安装平台的工作简化到了,简单的定位与设置之后即可正常工作。



