激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点,激光干涉仪,则是以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪是激光在计量领域中Z成功的应用之一。
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。
SJ6000激光干涉仪性能特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
SJ6000激光干涉仪技术参数:
测量方式:单频
稳频精度:0.05ppm
动态采集频率:50 kHz
环境温度范围:0~38℃,环境湿度:0~95%
存储温度范围:-20℃~70℃
环境补偿示值误差
空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
空气湿度传感器:±6% (0-95%)
大气压力传感器:±0.1kPa
线性测量
测量距离:0-40m
测量精度:0.5ppm (0-38℃)
测量分辨率:1nm
测量速度:4m/s
SJ6000激光干涉仪应用:
1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线,为机床的修正提供可靠依据。
2.激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、 平行度、垂直度等形位误差,在现场使用尤为方便。
3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上,取代原测长机的坐标系统,作为一般计量室中的长度基准。
4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器,可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统,使定位精度大为提高。
5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能,仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。
6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计,可作为机床传动链,丝杆螺旋线等误差的测量系统。