型号
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Veritas-300 专业入门级多功能扫描电镜
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样品台
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五轴优ZX,计算导航,五轴全自动控制
X: 120mm
Y: 120mm
Z: 5-65mm
R: 360°无限
T: -20°~90°
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电子枪
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预对中钨灯丝 三极自动偏压
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加速电压
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200V-30KV (发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率:5.7W)
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探测器
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ET-SED
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物镜光阑
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20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑
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分辨率
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4nm @30KV ( SEI)
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放大倍数
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10-300,000 X
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样品室
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Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等接口,接口可定制
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样品尺寸
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Φ210mm X 65mm
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工作距离
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0-65mm
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扫描光栅运动
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电位移 ±50μm, 电旋转 0-360°
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扫描模式
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聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变
TV模式:800x 600像素
慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。
照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素
动态聚焦,倾斜补偿
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图像格式
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JPG、TIFF、bmp、PNG
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真空模式
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高真空优于9x10-3Pa
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真空系统
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全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟)
-涡轮分子泵
-旋片式机械真空泵
-电动阀门系统:真空闸板阀、电磁阀等
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自动功能
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亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中
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软件系统
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基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。
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主机尺寸/重量
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800(W)x825(D)x 1500(H)mm /200kg
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电源
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单相交流 220V 、50Hz、1KW
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耗材附件
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预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具
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可选配置
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四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置
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