Genesis-I型500A升级为【EmCrafts】第二代中型样品仓扫描电镜 Genesis-II型510
Genesis系列小型立式扫描电镜，标准配置五轴优ZX样品台，样品室可同时接配二次电子（SE)、背散射电子（BSE）、X射线能谱（EDS）等探测器或附件，可拓展波谱仪（WDS）、电子背散射衍射（EBSD）、阴极荧光（CL）附件。是一款小巧、功能强大的电子显微分析平台。
Genesis 系列扫描电镜
【主要特点】
-- 高分辨成像能力，满足纳米尺度快速形貌表征，
-- 拓展分析能力强，可满足 EBSD、WDS、CL等分析附件分析需求。更强大的EDS分析能力。
-- 优ZX样品台，快速3D重构
-- 批量分析处理样品，GX率
-- 体型小巧，便于移动，节约空间
样品室CCD摄像机安全监控
五轴计算机导航控制，样品坐标可存储
【安装示意】
【性能指标】
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型号 |
Genesis-500A |
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样品台 |
五轴优ZX，全自动台 X、Y: 40mm | Z: 5-45mm | R:360°无限 | T:-20°~90° |
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电子枪 |
预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
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加速电压 |
200V-30KV （发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率：5.7W) |
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探测器 |
ET-SED |
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物镜光阑 |
20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
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分辨率 |
4nm @30KV (SEI) |
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放大倍数 |
10-300,000 X |
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样品室 |
内径φ150mm，Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
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样品尺寸 |
Φ96mm X 50mm |
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工作距离 |
0-45mm |
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扫描光栅运动 |
电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
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扫描模式 |
聚焦模式：320X240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式，用于TV及聚焦模式。 照相模式：800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素 |
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图像格式 |
JPG、TIFF、bmp、PNG |
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真空模式 |
高真空优于9x10-3Pa |
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真空系统 |
全自动真空系统，真空高压连锁安全保护（高真空时间小于3分钟） -涡轮分子泵
-旋片式机械真空泵
-电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等
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自动功能 |
亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中 |
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软件系统 |
基于Win8，Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
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主机尺寸/重量 |
600(W）x623（D）x 1350（H）mm /120kg |
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电源 |
单相交流 220V 、50Hz、1KW |
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耗材附件 |
预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，导电银胶，专用工具 |
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可选配置 |
四象限BSED | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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