APS 150G分析型探针台
一、基本配置信息:
1.探针台本体:
* Analysis 6" Probe Station(分析型6"探针台)(可选8”、12”)
* 6" vacuum chuck(6"真空卡盘))(可选8”、12”)
* Ball screw drived chuck stage (滚珠丝杆精密调节平台)
* Chuck stage travel X,Y 150mm (卡盘平台X,Y行程150mm)
根据需求行程可选200mm(APS 200型)或其它
* Manual chuck theta adjustment (手动卡盘旋转调整)精度:+/-0.1度(旋转)
* Chuck up-down 5mm (卡盘升降5mm行程) 升降台调节精度:15度,;4mm,+/-1um(垂直)
* Microscope stage travel X,Y 25mm(显微镜载物台X,Y行程25毫米)。调节精度:+/-1um
2.探针座:DC Probe Head 探针座(可选其它精度探针座及RF高频探针座)
* Foot dimension(底部尺寸) 70 x 35mm
* Travel range(X,Y轴行程范围) 12mm
* Travel range(Z轴行程范围) 12mm
* Feature Resolution(精度) 1um
* Vacuum base(磁吸附)
注:磁吸附系配置ZX设计开关磁吸装置;可选择真空吸附;
仰角裝置,可对夹持的探针进行仰角角度的调节;
3. 显微镜:Microscope System for High Magnification
高倍率显微镜系统
* Magnification up to 500X(放大倍率500X)
注:可选更高倍率镜头,如:100X物镜,即总倍率1000X;
* Fiber Light Guide(光纤传导):1.5m
* Light Source(光源):100W
* CCD port(CCD接口)
* 目镜:WF10X/24,视场直径 24mm,独立矫正色差
* 物镜:10X , 20X, 50X
* 双目头:瞳距调节范围55~75mm
* 上主体:分光比为50:50或0:100
* 管镜:1X NUV/VIS
* 齐焦距离: 95mm
* 调焦机构:调焦行程: 52mm
* 粗动手轮4mm/转
* 微动手轮0.1mm/转
* 微动手轮 1μm/格
* ZD承载重量: 45磅(20.4Kg)
4. CCD:C-MOS camera 1/2 300万像素