AMC-T低温探针台
低温探针台根据测试环境需求完成设计,一般情况下需要根据用户的低温参数要求,以下为基本配置信息,请参考;
一、基本配置信息
1.探针台本体
* 4”、6“、8“真空吸附卡盘
* 消除水份及结霜真空卡盘
* 配置低温环境保护装置
* 滚珠螺杆驱动卡盘装置
* X,Y 行程:100mm(可根据需求选择其它范围)
* Z轴升降装置
* 手动卡盘360度调整
* 显微镜X,Y,Z平台移动行程25mm(可根据需求选择其它范围)
* -40℃至300℃的温度范围内,温度可控(可根据需求选择其它温度范围)
* 热传感器组件控制
* 独立真空管道适合不同晶圆卡盘的尺寸;
* 前端面板控制系统
* 10 liter 液氮瓶
2.DC 探针座 Probe Head(可选其它精度或高频应用探针座)
* 外型尺寸:70 x 50mm
* X,Y行程:12mm
* Z行程:8mm
* 精度:1um
* 仰角调节装置
* 吸附方式:磁开关吸附(真空吸附可选)
3.体式显微镜系统(可选其它倍率光学显微镜)
* Stereo type系列连续变倍体视显微镜
* Eyepiece (目镜) 20X ~ 2 pcs
* Zoom(变倍率) : 0.65X to 4.5X
* Total Mag(总倍率) :10X to 300X
* Working distance(工作距离) : 96mm
* 附加物镜: 0.5X, 1.5X, 2X