上海沪杏光学的仪器介绍:CGM-600E明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头,是检测太阳能电池硅片的“金字塔”的微观形貌分布情况及硅片的缺陷分析的理想仪器。
上海沪杏光学仪器有限公司原系沪星仪表厂shhhx17.com,前身主要为国家高科研、定向生产JD仪器仪表,建厂历史悠久,产品质量过硬,科研水平领先,长期保持光荣的传统和优良的作风。改制后的我们,秉承原有的开创精神,经过几代人的ZY奋斗,已发展成为集研制和生产光学计量测试仪器以及先进GX的光学冷加工设备的综合性企业的联系方式:021-20227929。
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等,还可以对硅片的杂质、残留物成分分析,杂质包括颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象。
本仪器是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
CGM-600E明暗场硅片检测显微镜技术参数
1.目镜
类 别 放大倍数 视场(mm) 大视野目镜 10X φ18
2.物镜
类 型 放大倍数 数值孔径NA 工作距离(mm)
长工作距离平场消色差物镜 5X(明场) 0.12 18.3
10X(明暗场) 0.25 8.9 20X(明暗场) 0.40 8.7
40X(明暗场) 0.60 3.7 80X(明场) 0.80 0.96
3.光学放大倍数:50X -- 800X 系统参考放大倍数:50X-5000X
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:二层机械移动式(配有快速移动装置)
尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:6V/20W卤素灯,亮度可调
9.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:高像素的数字摄像头
CGM-600E明暗场硅片检测显微镜系统组成
大平台硅片检测显微镜(CGM-600E):
1.显微镜 2.适配镜 3.高像素摄像头4.计算机(选配)
CGM-600E明暗场硅片检测显微镜总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(CGM-600E):50--4000倍(17寸显示器为例)
1.二维测量软件 2.目镜: 20X 10X(带刻度)
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