透反射式硅片检测显微镜GM-300E主要用于太阳能电池硅片的观察.它能生产高清晰的图像,立体感较强，成像较清晰和宽阔，又具有长工作距离，并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
GM-300E型 透反射式硅片检测显微镜
技术参数
1. 目 镜
| 类型 | 放大倍数 | 视场（mm） |
| 大视野目镜 | 10X | Φ16 |
2. 物 镜
| 类 别 | 放大倍数 | 数值孔径（NA） | 工作距离（mm） |
| 平场消色差物镜（无盖玻片） | 5X | 0.12 | 18.3 |
| 10X | 0.25 | 8.9 |
| 40X | 0.60 | 3.7 |
| 60X | 0.85 | 0.26 |
3.光学放大倍数：50X 100X 400X 600X 系统参考放大倍数：50X-2000X
4.载物台：尺寸 185mm*140mm 移动范围 75mm*50mm
5.调焦系统：带限位和调节松紧装置的同轴粗微动 微动格值 0.002mm
6.滤色片组：转盘式，黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
7.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
8.照明系统：6V/20W卤素灯，亮度可调；220V（50Hz）
9.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制Z普通的仪器.
