一、用途:
GM-400E大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头.是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
类 别 | 放大倍数 | 视场(mm) |
大视野目镜 | 10X | φ18 |
2.物镜
类 型 | 放大倍数 | 数值孔径NA | 工作距离(mm) |
平场消色差物镜 | 5X | 0.12 | 18.3 |
10X | 0.25 | 8.9 |
20X | 0.40 | 8.7 |
40X | 0.60 | 3.7 |
80X | 0.80 | 0.96 |
3.光学放大倍数:50X -- 800X 系统参考放大倍数:50X-5000X
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:(配有快速移动装置)
尺寸:250*230mm 移动范围:153*153mm[标配]
尺寸:274*274mm 移动范围:203*203mm[选配]
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:6V/20W卤素灯,亮度可调
9.防霉:特有的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(GM-400E): 1.显微镜 2.适配镜 3、500万高像素摄像头
4、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(GM-400E):50--40000倍(17寸显示器为例)
五、选购件
1.测量软件 2.目镜: 20X 10X(带刻度)