ZXL-830型 氦质谱检漏仪

二、主要技术指标

1.  Z小可检漏率：5×10^-12Pa·m³/s

2.  漏率显示范围：1×10^-3—1×10^-12Pa·m³/s

3.  启动时间：≤3min

4.  响应时间：≤1.0s

5.  检漏口的Z高压力：1500Pa

6.  极限压强：5×10^-4Pa

7.  机械泵抽速：3L/s

8.  电源要求：220V，50Hz，单相，10A

9.  工作环境：5-35℃

10. 相对湿度：≤80%

11. 外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H）

12. 重量：60kg

1.  进口检漏仪专用分子泵

2.  优成机械泵

3.  渗氦型校准漏孔

4.  美国AD放大器

5.  质谱专用模块

6.  液晶触摸彩屏