G200M激光平面干涉仪为正立式结构,通光口径为200mm。 G200M弥补了国内使用有效口径150mm的干涉仪测试大尺寸光学系统和光学元件不能全口径 测试的不足,改善提高了大口径光学系统和光学元件测试精度。
产品型号 | G200M | G150M | G150S |
测量方式 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
有效通光口径 | 200mm | 152.4mm(6英寸) | 152.4mm(6英寸) |
标准镜材料 | 熔石英(康宁7980) | 熔石英(康宁7980) | 熔石英(康宁7980) |
光源 | 氦氖激光(632.8nm) | 氦氖激光(632.8nm) | 半导体激光(635nm) |
连续变焦倍数 | 1-6.7倍 | 1-6.7倍 | 固定倍率 |
光路切换 | 对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换 | ||
显示方式 | 计算机或独立监视器实时显示 | ||
平面透过标准镜 | PV:优于λ/15 | PV:优于λ/20,可定制更高精度标准镜 | |
平面反射标准镜 | 选配 | 标配 | 选配 |
衰减过滤片 | 选配 | 选配 | 选配 |
仪器尺寸·(长X宽X高) | 550 | 550 | 550 |
仪器重量 | 100KG | 80KG | 80KG |
电源 | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz |
气浮平台(长X宽) | 标配(1200 | 标配(1200 | 选配 |
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