简介
Dimension5000扫描探针显微镜Dimension5000SPM具有对大样品的自动成像能力,使之在半导体和数据存储设备的制造过程中广泛使用,它能够测量直径达350mm的样品上测量100多个区域。它具有原子力显微镜和扫描隧道显微镜的全部配置,可以在三维尺寸上探测缺陷、测量表面粗糙度和其它特征,测量过程对样品无损伤并且无需对样品进行预处理和修饰。
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