SFS-OBL-1 SIGMA物镜驱动器SFS-OBL-1

品Pai

西格玛(SIGMA)

型号

SFS-OBL-1

它采用压电陶瓷作为驱动器，并内置了小位移传感器。小巧，高速，高分辨率的纳米级定位装置。具有小于1nm的理论分辨率，行程大于100µm。压电陶瓷式物镜驱动器 SFS-OBL-1传统的FINE-01/503控制器可通用于SFS平台的控制。具有RS232C，GP-IB(FINE-503)，USB接口，可方便地实现计算机连接。采用独自开发的应用软件SGMMCS，SGTERMS，SGSFSX，可方便地实现精密测量和精密定位。适用于如扫描型干涉仪，表面结构分析，自动调焦系统，共焦显微镜，生物和半导体测试装置等。只要交换一下适配器，就可和奥林巴斯，尼康，三丰等的物镜互换不同类型的显微镜，有时其安装方法也有所不同。在您垂询时，请一定告知我们您所用显微镜的制造厂商名称，型号以及物镜型号和安装尺寸

型号	SFS-OBL-1
连接螺纹	ø20.32mm
尺寸	75 x 52.5 x 42mm
驱动装置	压电陶瓷驱动件
小位移传感器	位移传感器
行程	100 ± 15%
分辨率 (理论开环) *	1nm
分辨率 (闭环) *	10nm
直线度 : Xy, Xz, Yx, Yz	≤ 1μm
重复定位精度	≤ 0.1μm
自重	0.15kg