压电物镜驱动器为压电陶瓷,位置反馈采用数字位移传感器,可以用于显微镜的物镜驱动。
压电物镜驱动器特点:
● 尺寸小,可进行高速高分辨率定位。
● 开环控制时的行程为100μm。
● 考虑到显微镜的种类,我们备有2种用于正置型和1种用于倒置型显微镜的标准产品。
● 和其它压电陶瓷平台类似,可用控制器(FINE-01γ/503(CL))实现驱动。 USB接口,配合计量·控制软件SGEMCSE,SGTERME或SGSFSX,可简单地构建控制需要的系统。
● 备有多种螺纹适配器,可以安装不同螺纹尺寸的物镜。
●采用了金属封装的压电陶瓷驱动机构,和SFS-OBL-1相比,具有更好的抵抗湿度环境的性能。
应用举例
显微光学成像
显微光学成像,通常也称“光学显微成像”,或“光学显微术”(Optical Microscopy,或Light Microscopy),是指透过样品或从样品反射回来的可见光,通过一个或多个透镜后得到微小样品的放大图像的技术。压电物镜定位器可带载物镜头做Z向纳米级超精密运动,可使观测精度达亚纳米级。
激光加工技术
在激光加工中加入芯明天,可显著提高加工精度。
全自动细胞切片显微成像系统
通过光电一体化设计,在现有生物显微镜基础上,集成芯明天,增加调整切片装载、连续扫描运动成像、自适应连续对焦、荧光多光谱分子影像等功能模块,可开发高分辨率全切片图像采集、存储、处理系统。
光干涉
白光干涉技术以可见光为光源,光源发出的白光通过干涉物镜后在半透射光学平面反射一半光强,另一半光强透射后照射在量测物表面并反射再次进入干涉物镜,与原光学平面的反射光产生干涉。搭配芯明天压电物镜定位器,准确性高达纳米解析度,垂直扫描高度可达550μm。
技术参数:
行程 | 100μm±15% | 100μm±15% | 100μm±15% |
zui大可安装物镜直径〔mm〕 | 外径φ39以下 | 外径φ39以下 | 外径φ39以下 |
外形尺寸〔mm〕 | (W)75.5×(H)45×(D)40 | (W)75.5×(H)55×(D)40 | (W)60.8×(H)30×(D)40 |
驱动方式 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 | 压电陶瓷 |
自重〔kg〕 | 0.15 | 0.24 | 0.15 |
理论分辨率(开环时)〔nm〕 | 1 | 1 | 约0.8 |
分辨率(闭环时)〔nm〕 | 10 | 10 | 10 |
直线度(Xy Xz Yx Yz)〔μm〕 | <1μm | <1μm | <0.2μm |
重复定位精度〔μm〕 | <0.1μm | <0.1μm | <0.1μm |
承载能力〔N〕 | - | - | 4.9(0.5kgf) |
微小位移传感器 | 数字位移传感器 | 数字位移传感器 | 数字位移传感器 |
螺纹适配器 | OBL-ADP-** | OBL-ADP-** | OBL-ADP3-** |
附属件 | 电缆(2m) | 电缆(2m) | 电缆(2m),专用安装支柱4个 |
公司简介:
上海纳动纳米位移技术有限公司(简称“纳动纳米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河泾新兴技术开发区,是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的高新技术企业,专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发,并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等高端设备提供系统的技术解决方案,满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。