三维表面轮廓仪利用光的干扰,可迅速,准确,并高检测性的对1nm~10mm高度的模型的表面想象进行纳米单位测量。相比接触性方式,不会对测量物造成任何损伤,相比共焦方式,高解像力无关倍率均可得到统一结果,与AFM相比,可在宽测量领域内快速测量。
高度解像力0.1nm
任何倍率下,解像力均统一
测量纳米等级
测量高速,高精密度,高解像力表现形象
可测量透明/半透明/不透明登各种样品
无需非破坏,预加工程序即可轻松测量
反复性,准确性,
主要特征
测量高度,长度,段差,线,圆,弧,角度,款,宽,距离
面粗糙度,线粗糙度,波形
测量划痕,磨损,缺陷
测量面积,大小
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