GH-216 昆山国华真空等离子设备辉光放电特点

昆山国华真空等离子设备辉光放电特点

低气压辉光放电区的名称来源于这种等离子体是发光的，产SF光是因为电子能量和电子密度已经高到足可以由激发碰撞产生可见光。典型的水平电极真空（低压）等离子清洗机的电极结构如图所示：

水平电极真空（低压）等离子清洗机的电极<图1>

真空等离子清洗机辉光放电所产生的冷等离子体，在等离子体与材料表面相互作用中有着重要的地位，辉光放电一般在低气压（几到105Pa）下进行的。当选择适当的外电路条件及连续地冷却阴极时，在大气压下也可得到辉光放电。辉光放电的特性参数如表1所示：

辉光放电的特性参数<表1>

昆山国华真空等离子设备辉光放电特点，较显著特征是：

以阴极位降所表征的气体中电位分布，这一电位分布是由于空间电荷的影响，辉光放电区别于电弧放电是具有大的阴极位降，以及本身辐射引起的光电离等。被辉光覆盖着的并参加放电现象的阴极表面正比于管内电流强度，当电流减小或增加时，电流密度保持不变，并且阴极位降也保持不变，这时的放电称为正常辉光放电。

当电流增加到全部阴极表面被辉光覆盖时，阴极位降随电流强度及电流密度的增加前开始加大，这时进入反常辉光放电。正常辉光放电的阴极位降与气压无关，而决定于阴极材料及气体性质。

辉光放电的放电空间有特殊的光区分布，总的来说分为两大部分：*部分是放电的阴极部分，包括阿斯顿暗区、阴极辉区、阴极暗区、负辉区及法拉第暗区。前三个区称为阴极位降区，这一部分的电压降占管压降的大部分，为维持放电所必需的过程都集中在这里；第二部分称为阳极部分，包括正柱区、阳极暗区和阳极辉区。其中阴极部分并不具备等离子体的特征, 从正柱区一直到放电的阳极其他部分都是处于等离子体状态。如图2所示

辉光放电光区分布<图2>

在正常辉光放电的阴极区，正的净离子数密度是常数。当进入反常辉光区时，电流密度的增加引起电场的畸变阴极位降进一步提高，阴极位降区功率损耗越来越大，使阴极上发生溅射。阴极溅射是辉光放电阴极上一个特殊过程，如阴极溅射可以清除阴极表面不同性质的附着层，可以获得金属膜附着在金属、玻璃、陶瓷、云母等材料上面。

随着科学技术的不断发展，等离子清洗机的应用范围越来越广，涉及汽车及半导体，航空航天、塑料橡胶、材料学，光学，电子学，医药学，环境学，生物学等不同领域，那么用等离子清洗到底有哪些优点呢？

因为等离子清洗机的成本较低而且操作简单灵活，可以方便的变更处理气体的种类和处理工艺参数；使用过程中不会给操作人员的身体带来任何的不良；对于等离子处理方式来说，等离子清洗机的成本是十分低廉的，具有客观的性价比和优势；从环保的角度考虑，等离子清洗机的整个处理过程都是无污染无公害，绿色环保的。

等离子清洗使得操作员可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；避免使用ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法，这在高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；

清洗的对象经过等离子清洗机清洗之后是干燥的，不需要再经风干或干燥处理就可送往下一道工序、可以提高整个工艺流水线的处理效率。

利用高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体运行的方向都是零散性的，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成各种清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好。

所以等离子清洗机在很多高新科技行业中得到了广泛的应用，尤其是在汽车及半导体、微电子行业以及集成电路电子行业和真空电子行业中的应用，可以说等离子清洗机是一种重要的设备，也是生产工艺中不可或缺的一道工艺，更是产品质量的把关卡。

根据等离子清洗机在各种行业中的应用，我们可以发现等离子清洗机有很多的优点，正是由于它拥有这些优点，使得等离子清洗机设备在清洗、刻蚀、活化、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合中应用十分广泛，并且通过它的处理，可以有效的改善材料表面的润湿能力，粘接力从而使多种材料都能够进行涂覆和镀膜等操作，增强粘合能力和键合力，同时还可以将有机污染物、油污或者是油脂清除干净等离子清洗机的优点和用途非常的多。

如上所述即为真空等离子清洗机产生的辉光放电特点及优点，国华电子为您解说！谢谢！