CVD-1200系统CVD管式炉

CVD-1200系统CVD管式炉

CVD-1200系统CVD管式炉技术参数：
炉体结构 双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温；日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好炉子底部装有一对滑轨，移动平稳炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启，可以实时观察加热的物料
电源 电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
炉管 高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
法兰及支撑 SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合
加热系统 加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用加热区长度：440mm恒温区长度：200mm工作温度：≤1150℃温度：1200℃升温速率：10℃/min
温控系统 温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能30段升降温程序测温元件：N型热电偶恒温精度：±1℃
混气系统 三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套每路气体进气管路配有不锈钢针阀通过控制面板上的旋钮来调节气体流量流量规格：0~1SLM流量精度：±1.5%
真空系统 采用双极旋片真空泵，真空度可达5x10-1 Torr数显式真空压力表可选高真空系统及真空计，压力控制系统等