日本HORIBA压力控制器

伴随HORIBA明确针对全工艺流程的目标，我们已成功开发了一系列的分析设备，液体控制和监测系统已适应半导体制程中每一步工艺所需的严格质量控制需求。在制程的整个阶段，从材料分析到ZZ检查，HORIBA产品能始终帮助客户在高精*的电子器件制程达到GX能。
  HOIRBA集团拥有丰富多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门，主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害，气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作，反应源液罐体后端控压以保证罐内压力稳定在安全范围。这些器件的研发及使用都始终致力于提高制程工艺中的良品率。 
  较常见的压力控制器UR-Z700系列 

 HoribaZ700系列的产品概要：

  UR系列产品为使用高精度压力传感器及GX，响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的，以及拥有世界ZD的市场份额。

日本HORIBA压力控制器
  可使用DeviceNet控制接口
  符合环保要求的RoHS处理

HORIBA STEC UR压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的，以及拥有世界ZD的市日本HORIBA压力控制器 它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造，使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的，以及拥有世界ZD的市场份额，可使用DeviceNet控制接口，符合环保要求的RoHS处理
较常见的压力控制器是UR-Z700系列，一款数字式自动压力调节器。根据不同用途，该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中，当供气压力突然发生变化时，管道或罐体内的压力也随之发生变化，这不仅会影响整条管路流量的稳定，甚至可能会对整台设备的安全造成极大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列，通过快速响应，高精度，稳定控制的ZY性能来调整管路压力。即使面对这种情况，只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力，并确保气体质量流量控制器及反应源液的安全稳定运行。