1： LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2： LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 ZD值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3： 以SEMI E56-1296 为准。
*4： 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。
*5：这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
名称 | 日本HORIBA微小液体质量流量计 |
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型号 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
|---|
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5-100%F.S. |
对象液体种类 *1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
液体粘度 *2 | ZD值. 0.1 Pa·s (100cp) |
精度 *3 | ±1% F.S. |
直线性 *3 | ±0.5% F.S. |
重复性 *3 | ±0.5% F.S. |
响应精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) |
使用环境温度 *4 | 5-50℃ (15-45℃精度的确保) |
温度影響 Span | ±0.1%F.S./℃ZD值±1% |
工作差压值值 *5 | ZD值. 5MPa (视为流量计) / 50-300kPa (with piezo 控制阀) |
耐压 | 10MPa (视为流量计) |
压力損失 | ZD值. 500Pa |
流量设定信号 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议) |
流量输出信号 | 模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA-15V ±5%, 200mA |
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s(He) |
接液部材质 | SUS316L, Ni |
标准接头 | 1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型 |
名称 | 日本HORIBA微小液体质量流量计 |
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型号 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
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全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5-100% F.S. |
对象液体种类 *1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 |
液体粘度 *2 | ZD值. 0.01 Pa·s (10cp) |
精度 *3 | ±1% F.S. |
直线性 *3 | ±0.5% F.S. |
重复性 *3 | ±0.5% F.S. |
响应精度 | 3秒以内 (T98) | 2秒以内 (T98) |
使用环境温度 *4 | 5?50℃ (15- 45℃精度的确保) |
温度影响Span | ±0.1%F.S./℃-ZD值±1% |
工作差压值 *5 | 0.05-0.3MPa |
耐压 | 1MPa |
压力损失 | ー |
流量设定信号 | 模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
流量输出信号 | 模拟：0?5 VDC(最小负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议) |
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA?-15 V ±5%, 200 mA |
外部泄漏规格 | PO 类型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa?m3/s (He) |
接液部材质 | PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA?MO 类型： SUS316L，Ni |
标准接头 | 1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型 | 1/4” SWL类型 1/4” VC |
