MPT-1AN/RL200 一维放大式微动工作台_详细资料

产品信息

一维放大式微动工作台通过柔性铰链机构对压电陶瓷进行放大驱动以实现无间隙无耦合的微位移传动，具有沿X轴方向的一维运动，行程从50μm至200μm。一维放大式微动工作台可集成电阻应变片以实现高精度闭环控制，并可根据客户需求定制更小尺寸的微动台
主要参数
MPT-1AN/RL050 MPT-1AN/RL100 MPT-1AN/RL200
运动自由度 X X X
行程范围
(μm±10%) 50 100 200
位移分辨率
(nm) 5 10 20
重复定位精度
(nm)
-/50 -/100 -/200
运动方向ZD推力
(N) 300 300 300
运动方向ZD拉力
(N) 50 50 50
ZD负载
(Kg) 1.5 1.5 1
固有频率
(Hz) 600 300 150
重量
(g±5%) 600 850 1100
工作电压
(V) 0～150 0～150 0～150
工作温度范围
(℃) -20～80 -20～80 -20～80
外型尺寸 A×C
(mm) 100×90 120×110 150×140
外型尺寸 K×J
(mm) 21×24.5 21×24.5 21×24.5
运动部分 B×D
(mm) 45×35 60×50 70×60
运动部分 E×F
(mm) 37×27 50×40 60×50
运动部分 G
(mm) 56 68 87
安装尺寸 M×L
(mm) 4.5×8 4.5×8 4.5×8
安装尺寸 I M4 M4 M4
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150

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