三维光学轮廓影像仪

性能规格
 
厚度范围, :      50 nm - 10 mm
厚度范围, :      0 - 3 μm
 重复性, :    1.0 nm
 重复性, :    0.1 nm
台阶高度 准确性1:   0.7%
台阶高度 重复性2:   0.1%
样品反射率范围:     0.05% - 100%
ISO 25178 兼容:     是
 

机械规格

Z 范围:             100 mm
(压电)范围:   500 μm
垂直扫描速度:       12 μm/sec
XY 平台类型:        自动
XY 平台范围:        100 mm x 100 mm
t平台:              +/- 5°, 手动
相机:               2592 x 1944 (5 百万像素)
相机变焦 3:         1X, 2X, 4X
系统尺寸，宽x深x高: 300 mm x 300 mm x 550 mm
系统重量:           15 公斤

三维光学轮廓仪由北京哈科研发生产，可用于眼科镜片、YL器械、高亮度LED、半导体器件、TSV、太阳能电池片、汽车零部件、触摸屏和精密加工零件等各行业，为用户提供快速、准确地三维非接触式测量。